1. AG系列快速退火炉系列
   • AG410-610备件汇总表
   • AG4100S备件汇总表
   • AG8108S备件汇总表
   • AG8800S备件汇总表
   • AG8800i备件汇总表  

 2. Gasonics 打胶机系列
   • AURA1000主要备件表

 3. Matrix 去胶打胶系列
   • MATRIX105主要备件

 4. EG系列探针台系列
   • EG2001主要备件

 5. Tegal 刻蚀机系列:
   • Tegal90X主要备件表

 6. Wafer Handling, Robots & Accessories
   • PRI-Equipe Robots & Controllers
   • PRI-Equipe Pre-Aligners
   • PRI-Equipe Linear Tracks
   • Misc. Robots & Controllers
   • Misc. Pre-Aligners
   • Robot Accessories

 7. 气体控制类
   • Swagelok / Cajon Products   

 8. 气体流量控制器(MFC)  

AERA MFC

 9. 传感器

10. 真空备件
    • 真空泵
    • 涡沦泵控制器
    • 离子规和离子控制器
    • VAT Products 

11. 气路连接备件
   • 快速接头
   • Fittings
   • 连接管
   • 真空阀

12. 软件
   • 控制系统
   • 网络设置
   • 光盘

13. 制造配件

  
以上备品备件我公司现有大量存货。公司已建立了广泛的备件采购网络，其他各类备品备件的垂询本公司也会给予快速准确的答复。

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