AG Heatpulse 410 快速退火系统是AG公司的第二代产品。因其优良的温度控制性能、低廉的价格，目前仍受到半导体器件研制开发机构及生产厂家的钟爱，广泛地应用于半导体器件研发及生产等领域。

AG410-610备件汇总表

■优越的工艺控制:

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单片，闭环温度控制

快速升温与降温控制

工艺重复性高

SLIP RING可防止晶片结构在高温状态下边缘(大于1150℃) 产生滑移、SLIP FREE 特殊晶片的自动载片系统和精确的温度控制

4组加热灯可分别控制，提高了温场均匀性

■工艺用途:
　

离子注入后快速退火

欧姆接触快速合金

硅化物合金退火

氧化物生长

其它快速热处理工艺

■同管式高温炉的比较:
　

一般管式高温炉只能一个工艺条件，即一个温度；工艺周期长，使用不太灵活；须24小时加电恒温，能耗较高，适用于生产。

快速退火炉，可以设多个工艺条件，即多种温度；工艺时间短，使用非常灵活；能耗很低；同一台设备既可用作生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。

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