AG Heatpulse 610 快速退火系统是AG公司的第二代产品，因其优良的温度控制性能、低廉的价格，目前仍广泛地应用在半导体 器件研制、开发及生产等领域。

AG410-610备件汇总表

■优越的工艺控制:
         

单片，闭环温度控制

精确的温度控制部件可适用于特殊工艺要求

快速升温与降温控制

工艺重复性高

■工艺用途:
　

离子注入后的快速退火

欧姆接触快速合金

硅化物合金退火

氧化物生长

其它快速热处理工艺

■同一般管式高温炉的比较:
　

一般管式高温炉只能一个工艺条件，即一个温度；工艺周期长，使用不太灵活；须24小时加电恒温，能耗较高，适用于生产。

快速退火炉，可以设多个工艺条件，即多种温度；工艺时间短，使用非常灵活；能耗很低；同一台设备既可用作生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。

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