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     Gasonic Aura 1000 去胶（打胶）机是单片台式刻蚀系统，可用于3”、4”、5” 及6” 晶片的光刻胶及聚酰氨   的刻蚀。刻蚀速率高，无RF损伤。其可靠性高、 适应范围广已使Aura 1000去胶（打胶）机成为多用途、高产量半导体生产厂家的首选。
　

　

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AURA1000主要备件表


主要技术参数：
　


单片工艺；

去除晶片正面、背面光刻胶
　


3 ” 4” ，5“及6” 晶片

自动传片系统

红外光加热用于工艺温度控制

热电偶用于监控工艺过程中晶片温度

DOWNSREAM工艺：无RF损伤 (<0.1 volt CV shift)

工艺控制终点检测

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