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.半导体设备的维修和维护

 


 

 


我们向您提供专业的设备维护与维修服务。服务范围:
1
、快速退火炉:AG210/410/610/4100/4108/8108/8800

2
打胶机:MATRIX 101/102/103/104/105/106/206/303/403
           GASONICS AURA-1000/AE-2001/AE-2000LL

3
、探针台:EG1034/2001/2010
4
STS PECVD/RIE/ICP;
5
、Branson ICP2000/3000
6
Plasma Therm 70/700/790

 


 


2.半导体设备的以旧换新(TRADE-IN)

 


 


本公司提供半导体设备以旧换新或废旧设备回收服务。服务范围:
快速退火炉:AG210/410/610/4100/4108/8108/8800

打胶机:MATRIX 101/102/103/104/105/106/206/303/403
 
GASONICS AURA-1000/AE-2001/AE-2000LL

Branson ICP2000/3000

Plasma Therm 70/700/790


 


3.半导体设备海外竞拍服务

 
 


本公司在海外有专业的市场队伍,可为您提供专业的半导体竞拍方案与竞拍服务。


 

4.设备升级改造

 
 

本公司自行研制开发的AW系列应用软件,可用于AG系列快速退火系统、GASONICS 去胶系统、MATRIX打胶去胶系统、TEGAL系列刻蚀系统的升级与改造。
设备升级改造范围:
1、快速退火炉:AG210/410/610/4100/4108/8108/8800;
2、打胶机:MATRIX 101/102/103/104/105/106/206/303/403;
           GASONICS AURA-1000/AE-2001/AE-2000LL;
3、Branson ICP2000/3000
4、Plasma Therm 70/700/790;PCM 测试模块。

 
 


5.废旧FORBELIN 油回收或循环再使用

 
 


本公司拥有国内先进的FORBELIN 油过滤设备系统,系统可将废旧FORBELIN油循环再使用,为您节约成本提供便利服务。

 
 


6.半导体外围设备维修与保养

 
 


本公司拥有专业的真空和温度控制器设备维护维修技术,可为您提供专业安全的服务。
服务范围:各类进口真空设备(莱宝系列、Edwards系列等)的保养和维修。
         各类进口真空设备调试,提供专业真空解决方案。
         各类温度控制器保养与维修。
 

 
 


7.备品备件

 
 


公司可提供:
1、AG系列快速退火炉备件:
   ez-DTC(铂铑热电偶)、N2 Curtain、Double O-ring、Ceramic shied、O2腔体显示、SMIF、
   Slip Free Ring、平边自动对准仪等等;
2、MATRIX 和 GASONICS 打胶机:
3、真空泵、冷却系统、MFC等等;
4、EG系列探针台。
以上备品备件我公司现有大量存货。由于公司已建立了广泛的备件采购网络,其他各类备品备件的垂询,公司也会给予快速准确的答复。(具体备件内容请查询备品备件目录)

 
 


8.我公司还向您提供

 
 


1、厂房设计;
2、外围设备:水电气等的设计,安装;
3、设备选型、采购、安装、调试;
4、工艺技术支持;
5、工艺线管理:数据采集、处理,品质控制等
 

 
 


 

 

    E-MAIL:info_beijing@allwin21.com.cn        地址:中国·北京·石景山          电话:010-68865250           传真:010-68869822